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晶圓級靜電放電發(fā)生器

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ES613是一款靜電放電模擬器,有許多高級功能,包括可更換RC網(wǎng)絡(luò)模塊,可更換上升時(shí)間放電頭,放電次數(shù)計(jì)數(shù)以及遠(yuǎn)程控制。該產(chǎn)品符合IEC61000-4-2和ISO 10605標(biāo)準(zhǔn)。雙極性測試等級可達(dá)20 kV或30 kV。

靜電放電模擬器

1.描述

ES613是一款靜電放電模擬器,有許多高級功能,包括可更換RC網(wǎng)絡(luò)模塊,可更換上升時(shí)間放電頭,放電次數(shù)計(jì)數(shù)以及遠(yuǎn)程控制。該產(chǎn)品符合IEC61000-4-2和ISO 10605標(biāo)準(zhǔn)。

2.應(yīng)用

  • 系統(tǒng)級和板級ESD敏感度測試

  • 用作高壓直流源

  • 高壓充電和火花放電測試

  • 高壓擊穿測試

3.規(guī)格

型號ES613-20ES613-30
控制模型ES613-C20ES613-C30
ESD槍模型ES613-G20ES613-G30
測試電壓范圍   0.1 kV 至 20 kV  0.1kV 至 30 kV
測試電壓步長0.1 kV/步
電壓誤差可校準(zhǔn)至 ±1% (FS)
電壓極性正極性,負(fù)極性
放電間隔觸發(fā), 1Hz, 2Hz, 5Hz, 10 Hz, 20 Hz
放電計(jì)數(shù)高至65535次
放電模式接觸式放電,空氣式放電
操作面板5英寸大觸摸屏
觸發(fā)模式槍觸發(fā)/ 遠(yuǎn)程控制
工作模式手控模式
自動模式
高壓供電模式
遠(yuǎn)程控制 ( 可選)
手控模式允許每次放電前進(jìn)行IEC標(biāo)準(zhǔn)預(yù)設(shè)
自動模式 設(shè)置測試的起始、終止電壓,電壓步長,每個(gè)電壓等級的脈沖注入次數(shù),放電極性,進(jìn)行DUT失效等級的掃描自動測試??捎捎脩糇孕卸x設(shè)置
高壓供電模式作高精度高壓電源使用,最大輸出電流為 1 mA
功耗100 to 240 V AC
50/60 Hz +/-10%
60 W
尺寸35 X 28 X 15 cm
重量8 kg8.5 kg
質(zhì)保2 年

4.基本配置

編號描述
ES612-C20 (or ES613-C30)20 (or 30) kV 靜電和高壓測試控制器
ES613-G30 (or ES613-G30)20 (或 30) kV 靜電放電槍
ES613-CT接觸式放電槍頭
ES613-AT空氣式放電槍頭
ES613-RC1150 pF / 330 Ohm RC 模塊

5.可選配件

編號描述備注
ES613-RC1可更換的RC模塊 150 pF / 330 Ohm +/-10%IEC61000-4-2, ISO 10605
ES613-RC2可更換的RC模塊 150 pF / 2000 Ohm +/-10%ISO 10605
ES613-RC3可更換的RC模塊 330 pF / 330 Ohm +/-10%ISO 10605
ES613-RC4可更換的RC模塊  330 pF / 2k Ohm +/-10%ISO 10605
ES613-RC5可更換的RC模塊 100 pF / 1500 Ohm +/-10%JS-001-2014 HBM模式, MIL STD 883E
ES613-RCX用戶定制可更換的RC模塊
ES613-FRT快上升沿放電頭上升時(shí)間 < 400 ps
ES613-SAT彈簧式空氣放電頭
ES613-SCT彈簧式接觸放電頭



ES614-CPESD 模擬器電流探頭
(帶電場屏蔽,帶寬 10 kHz – 200 MHz)

ES614-AS500空氣放電速度控制滑動系統(tǒng)
(控制靜電放電槍接近速度:5 – 500 mm/s)

ES614-ASWS500空氣放電速度控制工作臺
(控制靜電放電槍接近速度: 5 – 500 mm/s, 放電角度: 0 – 90°)




A4001ESD 電流靶校準(zhǔn)件校準(zhǔn)ESD模擬器電流波形,最高電壓30 kV, 頻寬至 4 GHz,符合 IEC和 ISO 標(biāo)準(zhǔn)
A4001-TPESD 電流靶平板一塊屏蔽板,用于裝配ESD電流靶,并為測量示波器屏蔽ESD噪聲,避免直接耦合
A4001-TSCESD 電流靶屏蔽柜(法拉第籠)一個(gè)屏蔽柜,用于裝配ESD電流靶,并為測量示波器屏蔽ESD噪聲,避免直接耦合
A4002ESD 電流靶適配線適配線連接電流靶,頻響至4GHz,符合新 IEC和 ISO 標(biāo)準(zhǔn)
A4003ESD 電流靶及適配線校準(zhǔn)套校準(zhǔn)ESD模擬器,ESD電流靶和適配線,最高電壓至 30 kV, 頻寬至 4 GHz,符合新 IEC和 ISO 標(biāo)準(zhǔn)



ES615-A1ESD 測試臺
ES615-A2垂直耦合板
ES615-A3水平耦合板
ES615-A4ESD 測試臺絕緣襯墊
ES615-A5接地電纜
ES615-A6

ESD GRP – 參考地平板


靜電放電模擬器


湖南格雷柏電子科技有限公司

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